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电子特种气体

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六氟乙烷

<p>化学式：C2F6</p> <p>纯度规格：5N</p> <p>用途：清洗、刻蚀</p> <p>主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）、光纤</p>

八氟丙烷

<p>化学式：C3F8</p> <p>纯度规格：5N5</p> <p>用途：清洗、刻蚀</p> <p>主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）</p>

六氟丁二烯

<p>化学式：C4F6</p> <p>纯度规格：4N</p> <p>用途：刻蚀</p> <p>主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）</p>

氘气

<p>化学式：D2</p> <p>纯度规格：5N</p> <p>用途：热处理、光纤抗老化处理</p> <p>主要应用领域：集成电路（LOGIC/3D NAND）、光纤</p>

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