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氦氮混气、氙氢混气、氧氦混气、氪氖混气、氩氙氖混气等
用途：刻蚀、退火、光刻等
主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）、显示面板、光纤
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混合气主要应用于大规模集成电路和显示面板制造过程中的光刻、退火等多个工艺，基于自身掌握的纯化和混配技术，混合气产品组分纯度可达6N，结合客户的个性化需求，目前已实现30余种电子混合气的量产供应。
包括：氦氮混气、氙氢混气、氧氦混气、氪氖混气、氩氙氖混气等。
关键词:
氦氮混气
氙氢混气
氧氦混气
氪氖混气
氩氙氖混气
刻蚀
退火
光刻
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