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八氟环丁烷

化学式：C4F8
纯度规格：5N
用途：清洗、刻蚀
主要应用领域：集成电路（LOGIC/DRAM/3D NAND）
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       八氟环丁烷、八氟丙烷、六氟乙烷等高纯碳氟类气体，纯度均可达5N，主要应用于大规模集成电路制造领域的等离子刻蚀和清洗工艺。

关键词:
八氟环丁烷
清洗
刻蚀
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