前驱体的介绍-中船(邯郸)派瑞特种气体股份有限公司|三氟化氮|六氟化钨

前驱体的介绍

2025-06-05

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前驱体通常为高纯度化合物（如金属有机化合物、氢化物等）。它们在气相沉积（CVD、ALD）等工艺中经汽化、分解或反应，在晶圆表面形成纳米级薄膜（如金属、氧化物、氮化物），是制造晶体管、互连结构等关键器件的核心材料，其纯度和反应可控性直接影响芯片性能与良率。

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《尊龙d88特种气体股份有限公司年产3383吨高纯硫化氢等电子气体建设项目环境影响报告书》目前已委托河北奇正环境科技有限公司开始编制，现根据《环境影响评价公众参与办法》，为广泛征求与该项目环境影响有关的意见，将本项目环境影响相关信息公开如下，

2025-04-28

为保障公众环境保护知情权、参与权、表达权和监督权，向公众公开本项目环境影响评价的有关信息，并征求与该建设项目环境影响有关的意见和建议。

2024-11-15

项目名称：中船派瑞特种气体（呼和浩特）有限公司高纯电子气体项目（一期）

2024-02-23

欢迎对本工程的环境保护问题提出意见或建议，谢谢！

2024-03-27

《尊龙d88特种气体股份有限公司年产3383吨高纯硫化氢等电子气体建设项目环境影响报告书》目前已完成征求意见稿，根据《环境影响评价公众参与办法》的规定，现将有关环评信息进行公示

2025-06-12

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